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6731顶级游戏拥有自主知识产权的MOCVD设备PRISMO HiT3?,, ,,,,是合用于高质量氮化铝和高铝组分资料成长的关键设备,, ,,,,反映腔最高温度可大达1400摄氏度,, ,,,,单炉可成长18片2英寸表延片,, ,,,,并可延长到4英寸晶片。。。。。。。。 6731顶级游戏高温MOCVD设备PRISMO HiT3专为深紫表LED量产而设计,, ,,,,是目前业内紫表LED产能先进的高温MOCVD设备。。。。。。。。

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PRISMO HiT3®

用于深紫表LED表延片量产的MOCVD设备

产品特点

合用于高温氮化铝和深紫表 LED成长的关键设备

优异均匀性和高效力相结合

适合高晶体质量和高AIN成长速度的新鲜腔体设计

创新的实时监控系统

工艺温度最高可达1400度,, ,,,,拥有优异的温场均匀性和节造不变性

拥有高不变性、自动化的真空传送系统,, ,,,,抑造颗粒的产生

界面敦睦、全自动化的操作系统

竞争优势

优异的工艺沉复性,, ,,,,简化工艺调整需要,, ,,,,提高产品良率

单炉可成长18片2英寸表延晶片,, ,,,,拥有较低的出产成本

集成顶盖起落机构,, ,,,,简化设备守护,, ,,,,提高设备利用率

业界当先的UVC LED产能及守护周期

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