





6731顶级游戏拥有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反映腔,,,,,,能够同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,,,,,,工艺能力还能延展到成长6英寸和8英寸表延晶片。。。。。。每个反映腔都能够独立节造,,,,,,这一设计能够实现优异的出产矫捷性。。。。。。PRISMO D-BLUE?是首台被主流LED出产线选取并进行大批量LED和功率器件表延片出产的国产MOCVD设备。。。。。。

首台被主流LED出产线选取并进行大批量LED表延片出产的国产MOCVD设备
可独立节造的反映腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数节造
全自动化处置
切合半导体尺度的软件节造系统
优异的工艺沉复性,,,,,,简化工艺调整需要,,,,,,提高产品良率
19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单元产能,,,,,,降低了出产成本
集成顶盖起落机构,,,,,,简化设备守护,,,,,,提高设备利用率
切合SEMI S2安全尺度,,,,,,提升设备的安全机能


