6731顶级游戏

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作为6731顶级游戏公司自主研发的产出效能高且机能优良的12英寸CVD金属钨设备,,,,,,,Preforma Uniflex? CW可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔,,,,,,,每个反映腔皆能同时加工两片晶圆,,,,,,,在保障较低的出产成本和化学品亏损的同时,,,,,,,实现较高的出产效能。。 。。。。Preforma Uniflex? CW建设了齐全占有自主知识产权的优化混气规划,自主设计优化的吩禅抽气系统和真空卡盘,,,,,,,拥有优良的薄膜均一性、填充能力和工艺调节矫捷性,,,,,,,对于弯曲度较大的晶圆,,,,,,,它也具备优良的工艺处置能力。。 。。。。并且其优异的阶梯覆盖率和填充能力,,,,,,,能够满足先进逻辑器件、DRAM和3D NAND中接触孔以及金属钨线的填充利用需要。。 。。。。

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Preforma Uniflex? CW

为逻辑和存储芯片中金属钨填充提供的高性价比的解决规划

产品特点

双反映台及多达五个反映腔的系统

独立幼巧的反映空间

高效矫捷的工艺调节窗口

自主知识产权的优化混气规划

自主设计的优化气体分配的抽气系统

自主设计的优化真空卡盘的加热台

竞争优势

逾越产效能,,,,,,,低出产成本,,,,,,,低化学品亏损

优良的薄膜均一性和填充能力

优良的工艺适应性和兼容性

对弯曲度较大的晶圆也拥有优良的工艺处置能力

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