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Preforma Uniflash? TiAl是6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,, ,,,,,,可满足先进逻辑器件金属栅利用需要 。。。。。该产品继承6731顶级游戏怪异的双反映台设计,, ,,,,,,系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),可有效满足高真空工艺集成需要的同时,, ,,,,,,能够达到业界当先的出产率 。。。。。该产品选取6731顶级游戏自主开发的温度节造系统设计,, ,,,,,,怪异的表表处置技术,, ,,,,,,多区气体散布系统设计和基于模型算法的加热系统设计等,, ,,,,,,可满足先进逻辑客户机能需要的同时,, ,,,,,,设备的传染物节造,, ,,,,,,薄膜均一性,, ,,,,,,出产效能均达到世界先进水平 。。。。。

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Preforma Uniflash? TiAl

6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,, ,,,,,,可满足先进逻辑器件金属栅利用需要 。。。。。

产品特点

双反映台及多达五个反映腔的高真空系统设计

怪异的温度节造系统设计

多区气体散布系统设计

基于模型节造的加热系统设计

竞争优势

逾越产效能,, ,,,,,,低出产成本(CoO)

优异的传染物节造

更好的薄膜均一性和薄膜间均一性

每个守护周期的晶圆数量大大增长

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