





Preforma Uniflash? TiAl是6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,,可满足先进逻辑器件金属栅利用需要。。。。。该产品继承6731顶级游戏怪异的双反映台设计,,,,,,,,系统可矫捷配置多达五个双反映台反映腔(十个反映台),可有效满足高真空工艺集成需要的同时,,,,,,,,能够达到业界当先的出产率。。。。。该产品选取6731顶级游戏自主开发的温度节造系统设计,,,,,,,,怪异的表表处置技术,,,,,,,,多区气体散布系统设计和基于模型算法的加热系统设计等,,,,,,,,可满足先进逻辑客户机能需要的同时,,,,,,,,设备的传染物节造,,,,,,,,薄膜均一性,,,,,,,,出产效能均达到世界先进水平。。。。。

6731顶级游戏自主研发的12英寸原子层沉积产品,,,,,,,,可满足先进逻辑器件金属栅利用需要。。。。。
双反映台及多达五个反映腔的高真空系统设计
怪异的温度节造系统设计
多区气体散布系统设计
基于模型节造的加热系统设计
逾越产效能,,,,,,,,低出产成本(CoO)
优异的传染物节造
更好的薄膜均一性和薄膜间均一性
每个守护周期的晶圆数量大大增长

