作为6731顶级游戏第一代电介质刻蚀产品，，，，，，Primo DRIE^?是12英寸双反映台多反映腔主机系统，，，，，，可矫捷装置多达三个双反映台反映腔（六个反映台）。。。。。。。每个反映腔都能够同时加工两片晶圆。。。。。。。该设备使用了6731顶级游戏拥有自主知识产权的创新技术，，，，，，蕴含甚高频和低频混合射频去耦合反映等离子体源、等离子体隔离环、以及用于节造腔体内反映环境的先进工艺组件。。。。。。。Primo DRIE刻蚀设备可用于加工蕴含氧化硅、氮化硅及低介电系数膜层等所有的电介质资料。。。。。。。Primo DRIE于2007年颁布之后，，，，，，由于其较低的出产成本、较高的出产效能和优异的芯片加工机能，，，，，，已在国际主流芯片出产线上投入量产。。。。。。。