作为6731顶级游戏公司自主研发的具备超深邃宽比及复杂结构钨填充能力的12英寸Preforma Uniflex^? HW设备，，，，，该设备继承了前代Preforma Uniflex^? CW设备的利益，，，，，可矫捷配置多达五个双反映台的反映腔，，，，，每个反映腔皆能同时加工两片晶圆，，，，，在保障较低出产成本的同时，，，，，实现较高的出产效能。。。。。。。。Preforma Uniflex^? HW选取齐全自主知识产权的成长梯度抑造工艺，，，，，可实现表表从钝化主导到刻蚀主导的精准工艺调控。。。。。。。。硬件上，，，，，6731顶级游戏公司开发的可实现钝化功夫从毫秒级到千秒级的节造系统，，，，，可满足多种复杂结构的填充。。。。。。。。此表，，，，，搭配经过优化设计的流场热场系统，，，，，使该设备具备优异的薄膜均一性和工艺调节矫捷性。。。。。。。。